ダブルサイドマニュアルプローバ

ダブルサイドマニュアルプローバ WS-51

ＷＳ51は、マニュアル操作タイプのダブルサイドウェーハプローバです。ダブルサイド方式を採用することによりパワー半導体の正確な測定が可能となりました。

ウェーハの装着からステージの駆動、針とチップの位置合わせ、チップへの針圧そしてチップへの打痕確認など、プローバの基本的機能を備えています。

ウェーハ表裏両面を同時にプロービングするダブルサイドプロービングを採用することにより、パワー半導体のウェーハ状態での測定が可能になりました。
ブレードセット交換はワンタッチ式で簡単におこなうことを可能にし、またマイクロポジショナーを搭載することも可能です。

高電圧（1500V）大電流（200Aパルス印加）のデバイス測定に対応し、高精度な超低ＯＮ抵抗測定（10ｍΩ以下）が可能です。
また、コンタクトチェッカ（オプション）により大電流の安全な測定がおこなえます。

マイクロポジショナーによるX,Yステージの微調整により微細な合わせを容易にしました。
また、スプリングプローブ・タングステンニードル等多彩なプロービング方法が選択可能です。

■ 超低ＯＮ抵抗測定可能
■ ＸＹステージ同時駆動
■ ストローク
Ｘ軸 170mm（粗動）
Ｙ軸 160mm（粗動）
θ軸約±10°
■ 装置サイズ
（W）550×（D）455×（H）643
■ 装置重量
48Kg
装置詳細、テスターについてはお問い合わせください。