ダブルサイドオートプローバ（生産終了）  ※ダブルサイドマニュアルプローバは生産しています

  ソース・ドレインのセンスピンの位置を表裏一致させ、両面よりコンタクトすることで、狙ったチップをケルビンコンタクトにより正確なRdson（オン抵抗）測定を可能としました。

  操作モニタ上にテスタからチップ測定結果（合格・不合格etc）を分類・色分けし、リアルタイムに表示します。

  ウェハサイズ：４～８インチ
  ウェハ厚み：60μm　～

  専用搬送アームにより、最薄60μmのウェハ搬送を実現
  また、反りのあるウェハも“反り測定機能”により反りに沿ったプロービング位置に、アーム上下の移動量を補正し測定を行ないます。

■   装置本体サイズ
（W）1504mm×（D）1024mm×（H）1164mm
（パネル・ランプ含まず）   装置詳細につきましてはお問い合わせください。